近日，江蘇省科技廳公示了2025年度省科技重大專項擬立項目名單，由江蘇首芯半導體科技有限公司牽頭，東南大學、南京理工大學、日月新半導體（蘇州）有限公司參與的“單次成膜厚于4µm 的氧化硅薄膜沉積設備研發”項目入選，是高新區企業首次獲得該計劃項目，也是全市唯一上榜的項目。

江蘇省科技重大專項是我省為發展新質生產力，打造具有全球影響力的產業科技創新中心，面向世界科技前沿、國家重大戰略需求和我省經濟社會發展需要，部署實施的科技重大專項，旨在通過專項的實施突破一批產業關鍵核心技術，形成標志性重大戰略產品，推動科技創新和產業創新深度融合，賦能新興產業高質量發展。

江蘇首芯半導體科技有限公司成立于2023年2月，核心團隊由國內外頂尖半導體設備制造領域的專家組成，主要從事高端薄膜沉積設備的研發、制造及銷售，產品廣泛應用于（泛）半導體先進制程領域，為行業提供關鍵設備支撐。

此次入選的項目，聚焦半導體先進封裝領域核心技術需求，旨在攻克低溫/高溫工藝下的晶圓溫度控制、薄膜均勻性、缺陷度等核心技術瓶頸，滿足先進封裝對超厚、低缺陷氧化硅薄膜的迫切需求，打破美國對應薄膜沉積設備的封鎖和壟斷，填補國產設備的空白。為我國通過先進封裝提高芯片算力水平提供關鍵技術路徑，推動我國半導體設備產業向高端化、智能化方向發展。